ISTEQ’s XWS-65 光源產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用于各種應(yīng)用，包括光譜學(xué)，高分辨率顯微鏡，薄膜測(cè)量，表面測(cè)量等。這款光源基于最前沿的技術(shù)，已經(jīng)在美國(guó)和歐盟注冊(cè)了自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)。主要優(yōu)點(diǎn):? 連續(xù)激光脈沖放電? 寬光譜范圍: 190 – 2500 nm? 高光譜亮度: up to 50 mW/(mm2·sr·nm)? 高時(shí)空穩(wěn)定性: STD<0.15%? 高使用壽命 (由于electrodeless
ISTEQ’s XWS-65 光源產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用于各種應(yīng)用，包括光譜學(xué)，高分辨率顯微鏡，薄膜測(cè)量，表面測(cè)量等。這款光源基于前沿的技術(shù)，已經(jīng)在美國(guó)和歐盟注冊(cè)了自有知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
主要優(yōu)點(diǎn):
? 連續(xù)激光脈沖放電
? 寬光譜范圍: 190 – 2500 nm
? 高光譜亮度: up to 50 mW/(mm2·sr·nm)
? 高時(shí)空穩(wěn)定性: STD<0.15%
? 高使用壽命 (由于electrodeless operation):10000 小時(shí)
? 緊湊的體積擴(kuò)展了光源的應(yīng)用
? 通過(guò)軟件擴(kuò)展控制和監(jiān)控參數(shù)，Windows界面
XWS-65 參數(shù)
光譜范圍 | 190 -2500nm forUV configuration, 250-2500nm for OFR configuration |
| 光譜亮度 | Up to 50mW/(mm2·sr·nm) |
| 輸出功率 | Up to 3 W free space Up to 0.5 W via fiber |
| 燈介質(zhì) | Xenon |
| 發(fā)射體尺寸 | 250×500um |
| 使用壽命 | 10,000 hours |
| 時(shí)空穩(wěn)定性 | STD< 0.15% |
應(yīng)用領(lǐng)域:
? 吸收和熒光光譜學(xué)
? 微電子學(xué)中的診斷系統(tǒng)-污染和缺陷控制
? 表面測(cè)量，橢偏測(cè)量和散射測(cè)量
? 顯微鏡，包括共聚焦和熒光
? 光學(xué)組件檢測(cè)
? 色譜檢測(cè)器，微流體，晶圓實(shí)驗(yàn)室，液滴光譜儀，細(xì)胞熒光計(jì)等
